萬級潔淨室技術標準

壓差：相同潔淨度等級的潔淨室壓差保持一致，對於不同潔淨等級的相鄰潔淨室之間壓差要≥5Pa，潔淨室與非潔淨室之間要≥10Pa。

萬級潔淨室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔淨工作服不產生舒服感為宜，溫度一般控製在冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動±2℃。潔淨室濕度控製在45－65％。

配電：潔淨室（區）的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員淨化和物料淨化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。

噪聲控製

一、動態測試時，萬級潔淨室內的噪聲級不應超過70分貝A。
     二、靜態測試時，萬級亂流潔淨室的噪聲級不宜大於60分貝A。

氣流組織

萬級潔淨室主要采用的送風方式：1、局部孔板頂棚送風 ；2、帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風；3.上側牆送風 等三種送風方式。

萬級潔淨室主要采用的回風方式：1、單側牆下部布置回風口；2、當采用走廊回風時，在走廊內均勻布置回風口或在走廊端部集中設置回風口。

送風口風速米／秒）：1.孔板孔口3～5； 2、側送風口：⑴貼附射流2～5  ；⑵非貼附射流同側牆下部回風1.5～2.5，對側牆下部回鳳1.0～1.5 。

回風口風速（米／秒）：1、潔淨室回風口不大於2；2、走廊內回風口不大於4